東洋大学、理工学部電気電子情報工学科機、能創発ナノバイオエレクトロニクス研究室（根岸良太教授）との共同研究の成果がMNC2024国際会議で発表されます。

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発表の詳細は、下記のとおりです。
「Development of automated fabrication and evaluation system for surfaced-enhanced Raman scattering device applications」
Yousuke Kasai 1, Masayuki Hashimoto 1, Ryo Meguro 2, Takayuki Nishino 2, Ryota Negishi 1, 1 Toyo Univ. and 2 Sanwa, Japan
Nov. 12-15, 2024, Kyoto Brighton Hotel, 15P-1: Poster Session II (15:30-17:30, Nov. 15), Room P (Hanabusa) (B1F), Kyoto, Japan

　この研究の特徴は、バイオセンシング技術として期待されている表面増強ラマン散乱効果を生じる半導体基板の効果的な作成に即して、ラボの自動化に着手した点にあります。弊社では、ラボの自動化を効率的に進めるため、通信制御が可能な3軸ロボット、超音波洗浄機、マグネットスターラー、ホットプレート、および窒素ブロー装置を開発しました。これらの装置は同一通信プロトコルで接続され、自動化シーケンスを簡単に組むことができる点が特徴です。
　さらに、これらの機器が窒素雰囲気中のグローブボックス内に設置されても、配線が複雑にならないよう無線通信仕様となるWireless MODBUS-RTUプロトコルを組み込んだ点は、製品として先駆的です。開発途中の製品もありますが、少子化の影響を受ける中、大学などの教育機関で研究を推進し、基礎技術の学習や技能の習得を妨げない範囲でラボの自動化を進めることは、今後ますます重要になります。引き続き、研究および製品開発に取り組んでまいりますので、どうぞよろしくお願い申し上げます。

開発した製品

☜ 実験サンプル基板搬送ロボット

　バイオセンシング用サンプル基板作成実験では、超音波洗浄機、ホットプレートでの溶液処理、窒素ブロー、攪拌装置など複数の機器を使用した工程に対して、サンプル基板を搬送し、目的の素子を自動で形成します。
① USB通信
② RS-485（MODBUS-RTU）
による自動制御が可能です。

リモート超音波洗浄機 ☞

　バイオセンシング用サンプル基板作成実験において、洗浄やリフトオフなどの処理を通じて基板表面の不要な残存物を除去するために使用されます。超音波洗浄機は、実機での設定に加えて、通信によるON/OFF制御、超音波の強さ、タイマー設定も可能です。
① USB通信
② RS-485（MODBUS-RTU）
③ Wireless MODBUS-RTU
対応です。

☜ 自動窒素ブロー装置

　バイオセンシング用サンプル基板作成実験において、基板の溶液処理後に残存した溶液を乾燥させるために窒素ブローを使用します。装置は4チャンネルのガス経路を備えており、各経路は減圧弁により独立して圧力を設定できます。また、通信による自動制御でON/OFFが可能です。

　これらの製品や技術にご関心のある方は、弊社西野までお問い合わせください。
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